半导体设备对压缩气体及流体管道要求

　　半导体设备对压缩气体及流体管道的要求非常高，因为半导体的投入与产出都非常大，任何供气中断都会带来巨大的经济损失。具体来说，要求包括以下几个方面：　　安全性：管道系统的