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时间:2024-03-20 13:14:52
在芯片厂中,压缩空气有着广泛的应用,主要包括以下几个方面:
氧化过程:压缩空气可以用于在晶圆表面形成保护膜,防止化学杂质影响、避免漏电流进入电路、预防离子植入过程中的扩散以及防止晶圆在刻蚀时滑脱。在这个过程中,首先需要去除杂质和污染物,包括有机物、金属等杂质及蒸发残留的水分,而压缩空气可以提供所需的动力和环境条件。
干燥芯片:芯片在制造过程中需要保持干燥,以避免由于水分或其他污染物导致的制造缺陷。压缩空气可以用于干燥芯片,去除其表面的水分和杂质。
冷却芯片:在芯片制造过程中,需要对芯片进行冷却以防止其过热。压缩空气可以用于制造过程中的冷却,帮助控制芯片的温度。
气动机构:压缩空气还可以用于驱动气动机构,这些机构在芯片制造过程中用于将材料嵌入芯片/板,或者进行其他需要精确控制的动作。
提供动力:空气压缩机可以为电子制造行业提供所需的动力,包括高温高压的空气、气体混合物等,以加速电子制造过程,提高生产效率。
总的来说,压缩空气在芯片厂中发挥着重要的作用,涉及到芯片制造的多个关键环节。因此,对压缩空气的质量和供应稳定性有着严格的要求,以确保芯片制造过程的顺利进行和最终产品的质量。
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